The MEMS handbook, [1] MEMS, introduction and fundamentals

Gespeichert in:

Titel:	The MEMS handbook ([1]); MEMS, introduction and fundamentals/ ed. by Mohamed Gad-el-Hak
Ausgabe:	2. ed.
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Boca Raton, Fla.[u.a] CRC [u.a.] 2006
Gesamtaufnahme:	The MEMS handbook; [1]
Quelle:	Verbunddaten SWB