MEMS NEMS handbook: techniques and applications

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Personen und Körperschaften:	Leondes, Cornelius T. (HerausgeberIn)
Titel:	MEMS NEMS handbook: techniques and applications/ ed. by Cornelius T. Leondes
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	New York, NY Springer 20XX-
Schlagwörter:	Microelectromechanical systems > Design and construction Nanotechnology
Inhalte/Bestandteile:	5 Datensätze
Online-Ausg.:	MEMS/NEMS, Boston, MA : Springer US, 2006, Online-Ressource (XVIII, 2088 p. 550 illus. (in 5 volumes, not available separately), digital)
Quelle:	Verbunddaten SWB