Process integration and device characterization in microelectronic manufacturing. (1996). Washington: SPIE - The International Society for Optical Engineering.
ISBD ZitierstilProcess integration and device characterization in microelectronic manufacturing / by Badih El-Kareh . — Washington : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1996
MLA ZitierstilProcess Integration and Device Characterization in Microelectronic Manufacturing.Washington: SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1996.
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