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Process integration and device characterization in microelectronic manufacturing. (1996). Washington: SPIE - The International Society for Optical Engineering.

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Process integration and device characterization in microelectronic manufacturing / by Badih El-Kareh . — Washington : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1996

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Process Integration and Device Characterization in Microelectronic Manufacturing.Washington: SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1996.

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